Интроскопия полупроводниковых пластин

Интроскопия полупроводниковых пластин

№ 2 (2) 2017

Страницы:

91 –

99 Язык: русский

Открыть файл статьи

Аннотация

В работе проведены исследования по развитию методов интроскопии полупроводниковых пластин с использованием когерентного и некогерентного излучения.Представлены теоретические основы методов и разработанное экспериментальное оборудование. Описана методика анализа дефектов в поле некогерентного излучения на основе сравнения с эталонным образцом. Представлена развитая методика контроля крупномасштабных неоднородностей, основанная на анализе восстановленных интерферограмм в процессе остывания полупроводниковой пластины. Интерферограммы восстанавливались на основе сравнения голограмм, полученных при освещении когерентным источником излучения. Представлена методика определения дефектности кремниевых пластин,основанная на сравнительном анализе Фурье образов голографических интрограмм.

Список использованных источников

Горлов М.И., Емельянов В.А.,Ануфриев Д. Л. Технологические отбраковочные и диагностические испытания полупроводниковых изделий. - Минск: Бел.наука, 2006. – 367 с.

Ланин В., Волкенштейн С., Хмыль А.Методы контроля и диагностики скрытых дефектов в изделиях электроники //Компоненты и технологии. – 2010. – Т.103. №2 - С.137-142.

Сенько А.С., Сенько С.Ф., Зеленин В.А. Количественная диагностика поверхностных дефектов полупроводниковых пластин кремния //Микроэлектроника. - 2003. - Т. 32, № 3. - С. 210-218.

Воробей Р.И., Гусев О.К., Жарин А.Л., Петлицкий А.Н., Пилипенко В.А.,Турцевич А.С., Тявловский А.К., Тявловский К.Л. Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин. // Приборы и методы измерений. – 2013. - № 2 (7). -C.67-72.

Дроздов Ю.А., Окунев А.О., Ткаль В.А. Компьютерная обработка рентгенотопографических изображений дефектов структуры монокристаллов //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2002. - № 8. -С.6-12.

Ferraro P., De Nicola S., Coppola G.Digital holography and three-dimensional display: principles and applications / T.-C. Poon,ed. - New York: Springer, 2006. – 430 p.

Matrecano M., Memmolo P., Miccio L.,Persano A., Quaranta F., Siciliano P., Ferraro P. Improving holographic reconstruction by automatic Butterworth filtering for microelectromechanical systems characterization // Applied Optics. – 2015. - V.54. - P. 3428- 3432.

www.etesters.com/listing/37fb7d1a-1422-08df-aa26-267d4ab676c5/SIRM-300_-_Scanning__Infrared_Microscope